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為什么掃描電鏡(SEM)的束斑直徑那么重要

 發布時間:2017/12/19 點擊量:2786
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近年來,隨著科技的發展和材料尺寸的不斷縮小,掃描電鏡(SEM)已經成為一種非常有價值的表征方法。SEM作為一種通用的工具,方便用戶可以對各種各樣的材料進行多種不同類型的分析。為獲得更好的結果,用戶應該仔細設定SEM參數。其中一個設置是束斑直徑,即照射在樣品上的電子束直徑。在這篇博客中,闡述了如何在SEM中調整束斑直徑,以及如何在高分辨率成像和大束流之間實現平衡,以獲得*結果。

 

如何在SEM下調整束斑直徑

 

描述SEM中電子束性質的四個主要參數如圖1所示:

 

  1. 使電子在電鏡腔室中運動的加速電壓
  2. 電子束的會聚角
  3. 轟擊樣品的電子束流大小
  4. 到達樣品表面的zui終束斑直徑。

 

圖1:SEM中電子束的四個主要參數:加速電壓、會聚角、電子束流和束斑直徑

 

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